TiAlSi
近年来，硬质涂层逐渐向多元化、纳米化方向发展。在涂层中添加掺杂元素以提高涂层的硬度、耐氧化温度以及润滑性能，降低涂层内应力，成为当前刀具涂层研发的主要方向之一。
TiAlN涂层中通过添加Si元素可提高膜层的抗氧化性能和摩擦学性能，显著提升刀具、模具的使用寿命。
安泰六九铬铝硼、钛铝硅靶材具有密度高、组织均匀、晶粒细小、产品质量稳定等特点，已批量应用于国内知名涂层企业，产品质量得到客户认可。
100um晶粒组织 50um晶粒组织
成分(at%) Composition | 纯度 Purity | 密度 Desity | 晶粒度 Grain Size | 制造工艺 Process |
TiAlSi 30/60/10 | ≥99.8% | ≥99% | 50um | 热等静压 |
TiAlSi 40/50/10 | ≥99.8% | ≥99% | 50um | 热等静压 |
尺寸 Size(mm) | Φ160*12 / Φ105*16 / Φ100*20 / Φ64*32 741*191*18 / 1701*132*12 矩形靶材最长可达1800mm，圆形靶材直径可达350mm | |||
其他规格靶材根据客户特殊需求提供 Other special specification are avaliabe on customers' request. | ||||